产品案例
特异天线结构的掩模板前体与生物微流控芯片
图中为一种特异天线结构的掩模板前体（S600系列系统加工）。理论上我们设备加工的平面二维结构都可以转化为掩模板结构，只要掩模板要求的最小特征分辨率大于我们的最小加工线宽，加工面积小于我们的最大可加工面积。
图中为一种用于分拣、检测细胞的生物微流控芯片（S600系列系统加工）：左图为整体结构的照片，右图为中间过滤栅栏的显微镜放大照片（该道栅栏可过滤小于1微米的细胞）。该结构可以光刻在玻璃材料上直接封装制成芯片成品，也可以通过刻蚀转模为掩模板，反复在基板上刻蚀生物芯片结构。
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平生
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