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超表面光学器件

超表面光学器件（D100系列系统加工）：超表面光学器件是一大类具有特殊调制光场能力的器件的总称。这类器件通过特异性的表面结构实现各种不同的、超越现有传统光学器件的特殊光学调制能力。上图中的超表面结构的加工周期为350nm，线宽达到了80nm。该结构可以实现多焦点聚焦光束。下图的螺旋阵列结构可以实现对入射光的分频。
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